本発明において、前記基準部の軸線に対する同軸状の位置及び姿勢は、前記作動体に設けられたコレット摺接部に対して前記基準部が軸線方向に移動可能に摺接することにより保持されるように構成してもよい。ここで、前記コレットは、前記作動体の外周側に配置されても、内周側に配置されてもよい。これらの場合には、前記受圧部が前記流体圧を受けることにより前記作動体が軸線方向先端側へ移動するとき、前記シリンダ摺接部が前記シリンダ構造の内面に対して摺動するとともに前記コレット摺接部が前記コレットに対して摺動しながら、前記駆動部が前記コレットの前記被動部に駆動力を与えることが望ましい。また、前記コレットが前記作動体の外周側に配置される場合には、前記基準部の軸線に対する同軸状の位置及び姿勢は、前記ハウジングに設けられた内面に前記基準部が支持されることにより固定されるように構成してもよい。
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図８には、第７実施形態のハンドリングユニット７０の正面図（ａ）及び縦断面図（ｂ）を示す。この第７実施形態では、第１実施形態と同様のコレット７１、ハウジング７２及び作動体７３を備え、第１実施形態と同様のコネクタ７８を介して流体供給口７２ｐから流体がシリンダ構造７２ｓ内に供給可能になっている。このため、第１～第６実施形態と同様に構成される部分の説明は省略する。ただし、本実施形態は、上記流体の流体圧が低減され若しくは消失された状態で、コレット７１の複数のフィンガー部７１ｃがその弾性変形部７１ｂの弾性復元力により拡径して把持対象物Ｐを内側から把持して把持状態となり、上記流体圧が増大され若しくは印加された状態で、駆動部７３ｃにより被動部７１ｔに駆動力が与えられることにより、コレット７１の複数のフィンガー部７１ｃが弾性変形部７１ｂの内側への弾性変形により把持対象物から退避して非把持状態となる点で第１実施形態と異なる。すなわち、コレット７１の把持対象物Ｐへの把持態様は第６実施形態と同様に内径把持であるが、基本的な構造は第１～第５実施形態と同様に構成される。ただし、作動体７３の動作によってコレット７１が把持状態から非把持状態へ移行し、作動体７３の退避によってコレット７１が非把持状態から把持状態に戻る点で、第１～第５実施形態とは逆になる。このコレット７１では、スプリングバック量が負の値に設計されており、駆動力を受けない状態で弾性変形部７１ｂの弾性復元力に基づく把持力が発生し、駆動力を受けることによる弾性変形に基づいて把持力が低下し若しくは消失する。
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前記ハンドリングユニットの前記シリンダ構造内に流体を供給する流体供給手段と、
コレット、前記コレットを駆動する作動体、及び、前記コレットと前記作動体を収容し、流体供給口を備えるシリンダ構造を含むハウジング、を有するハンドリングユニットと、 前記ハンドリングユニットの位置及び姿勢を定めるユニット駆動系と、
作動体１３には、軸線１０ｘに沿って基端部から先端部まで延在する筒状（スリーブ状）に構成される。作動体１３の内周部には、上記コレット１１を収容する軸孔１３ａが設けられる。この軸孔１３ａに臨む軸線方向の一部には、上記コレット１１の基準部１１ａを軸線方向に摺動可能に支持する支持面部１３ｂが形成される。図示例では、この支持面部１３ｂは、軸線１０ｘを中心とする円筒内面で構成される。また、作動体１３には、上記コレット１１の被動部１１ｔに駆動力を与える円錐状の傾斜面で構成される駆動部１３ｃが設けられる。この駆動部１３ｃが上記被動部１１ｔに当接することによって上記弾性変形部１１ｂが弾性変形し、上記フィンガー部１１ｃが把持対象物を把持する方向（図示例では内周側）に移動する。また、作動体１３の先端部（駆動部１３ｃ）には、上記規制溝１１ｐに対して軸線方向に移動可能に導入された内周側規制ピン１６が取り付けられる。この内周側規制ピン１６と規制溝１１ｐの係合は、上記コレット１１と作動体１３の軸線１０ｘの周りの相対的な回転を規制する。さらに、この規制構造とは異なる軸線１０ｘの周りの角度位置において、作動体１３の先端部には、上記ハウジング１２に取り付けられた外周側規制ピン１７が軸線１０ｘに沿って移動可能に収容される、外周側に開放された規制溝１３ｐが設けられる。この外周側規制ピン１７と規制溝１３ｐの係合は、上記作動体１３と、ハウジング１２との軸線１０ｘの周りの相対的な回転を規制する。
作動体１３の外面上には、軸線方向先端側から軸線方向基端側に向かうときに外形寸法（図示例では外径）が増大する段差構造である外側段部１３ｅ（第２の段部）が形成される。この外側段部１３ｅは、上記シリンダ摺接部１３ｓ（基端側外面部分）と、上記支持部１２ｋに対して軸線方向１０ｘに移動可能に摺接する被支持部１３ｋ（先端側外面部分）の間に形成される。ここで、内側段部１２ｅは外側段部１３ｅに対して軸線方向先端側に形成される。また、上記内側段部１２ｅと上記外側段部１３ｅとの間には、図示例ではコイルばねである作動ばね１４（作動体付勢手段）が配置（格納）される。この作動ばね１４は、上記流体供給口１２ｐから供給される流体の流体圧が低減若しくは消失したときに、弾性復元力により、作動体１３を軸線方向基端側に戻す。これによって、駆動部１３ｃから被動部１１ｔに与えられていた駆動力が低減若しくは消失されるので、コレット１１の弾性変形部１１ｂの弾性変形が低減若しくは消失されることにより、複数のフィンガー部１１ｃが把持対象物の把持状態から把持前の非把持状態に対応する半径方向の位置に復帰する。ここで、通気経路１３ｔは、内側段部１２ｅと外側段部１３ｅの間の空間を外部に連通させる。ただし、通気経路１３ｔを形成せずに、当該空間内に圧縮性流体（空気やガスなど）を充填し、これの圧力によって弾性復元力を発揮する上記の作動体付勢手段を構成してもよい。
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前記筒体の内周と前記軸体の前記大径胴部との間の環状隙間は、前記大径胴部の軸方向の中心位置で小さく、前記中心位置から離れるほど大きくなるように設けられ、
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また、本実施形態では、内周側規制ピン１６及び外周側規制ピン１７によって、コレット１１及び作動体１３がハウジング１２に対して回転方向に規制されるので、複数のフィンガー部１１ｃの把持面１１ｇによって把持可能な把持対象物に対する把持形状を、円形断面だけでなく、角形断面や楕円断面などの任意に設定することができる。なお、ハンドリングユニット１０の回転姿勢を把持対象物の姿勢に合わせることは、後述するハンドリング装置の制御部１００によるユニット駆動系の制御によってなされる。
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