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特許文献1に開示された蓋把持装置では、楔クランプ部とクランプ部が協働するコレットチャックを用いて把持部を構成し、コレットチャックを軸方向に能動的に作動させるソレノイドを設けるとともに、楔クランプ部をクランプ部内に引き込む戻りスプリングを設置している。また、特許文献2に開示されたワークのチャッキング装置では、ER型コレットにより把持部を構成し、このコレットを半径方向に駆動するためのエアシリンダ構造を有する駆動機構を設けるとともに、逆の戻し側に軸方向と半径方向に復元させるための圧縮コイルばねと線ばねを設けている。

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上記の非把持状態から把持状態への移行過程において、作動体13が軸線方向先端側へ移動するとき、作動体13の支持面部13bはコレット11の基準部11aに対して摺動する。このとき、支持面部13bの表面は軸線10xに沿った面となっているため、これと同様の表面を有する基準部11aを備えるコレット11の軸線10xに対する同軸状の位置及び姿勢は保持される。また、コレット11が外力を受けない限りは、保持ばね15によりコレット11の係止段部11dはハウジング12のコレット係止部12rに当接した状態に維持されているので、ハウジング12に対するコレット11の軸線方向の位置は固定されている。これらの構成により、上記移行過程では、コレット11の複数のフィンガー部11cは、軸線10xに対する同軸状の位置及び姿勢、並びに、軸線方向の位置が保持された状態で、把持対象物に対して高精度(高い把持精度及びその繰り返し精度)で作動する。

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清·梁章钜《归田琐记·张孟词贡士》:“阮芸台师哭孟词云:‘张孟词志趣高洁,风仪峻朗,博闻元览,颖秀迈伦。’”

各弾性変形部11bの軸線方向先端側には、フィンガー部11cが接続される。フィンガー部11cは軸線10xに向いた把持面11gを備える。なお、図示例では、把持面11gは、軸線10xを中心とする円弧筒状の内周面(中心角が120度弱)で構成されるが、これに限定されず、図示しない把持対象物に対応するものであれば、楕円状、平坦状などの任意の内面形状であってもよい。フィンガー部11cの外面上には、軸線方向先端側に向いた係止段部11dが設けられるとともに、この係止段部11dの軸線10xの方向の基端側(図示右側、以下、単に「軸線方向基端側」という。)には、軸線方向基端側に斜めに向いて傾斜した円錐面状の被動面11tが、各弾性変形部11b及びフィンガー部11c毎にそれぞれ設けられる。さらに、この被動面11tの一部(一つ)には、軸線10xに沿って延びる、外周側に開放された規制溝11pが設けられる。

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通気口22qへエアなどの流体を供給し、軸孔21x内から外部へ流体を噴出させることにより、コレット21の内部に紛れ込んだ粉塵やフィンガー部21cの把持面21g上に付着した塵埃などを吹き飛ばし、各所を清浄化することができる。また、通気口22qと軸孔21xを介して吸引を行うことによって、フィンガー部21cの内側へ把持対象物を吸引して、既定の把持位置まで把持対象物を引き込んだり、吸引力そのものによって把持対象物を保持したりすることができる。ここで、上記吸引力を増大させるために、上記スリット11sに相当するスリット21sの内部にシリコーン樹脂などの変形容易なシール材を配置し、把持対象物が複数のフィンガー部21cの各把持面21gによって把持されたとき、コレット21の内部が外部とほとんど連通しなくなるように構成してもよい。

また、ハンドリングユニット10は、コネクタ19を介して排気装置104に接続される。排気装置104は、排気経路105に沿って設置された圧力調整器P2及び開閉弁V2を経て、ハンドリングユニット10の内部(軸孔11x及び通気口12q)を吸引し、排気する。なお、排気装置104の代わりに、上記と同様の流体供給源を接続してもよく、また、排気装置と流体供給源とを切替可能に接続するようにしてもよい。

そこで、本発明の課題は、小型化や軽量化を図ることが容易であるとともに、把持精度や繰り返し精度を確保できるハンドリングユニットを提供することにある。

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